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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-O1200-50IT-3F-LV
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng) 采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握。
詳情介紹:

TN-O1200-50IT-3F-LV 1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來(lái)控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以混合1~3路氣體,準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。


應(yīng)用范圍:高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。


名稱  1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)
型號(hào) TN-O1200-50IT-3F-LV
參數(shù)
  1. 1、供電電源:AC:220V 50/60Hz
  2. 2、爐管  材質(zhì):高純石英; 尺寸:直徑50mm(可選配60mm、80mm、100mm)、長(zhǎng)度800mm(爐膛長(zhǎng)度:440mm)
  3. 3、加熱區(qū):長(zhǎng)400mm;  恒溫區(qū):長(zhǎng)200mm
  4. 4、工作溫度:0~1100℃; 控溫精度:±1℃; 
  5. 5、控溫模式:30段或50段程序控溫
  6. 6、顯示模式:LCD
  7. 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
  8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
  1. 9、供氣系統(tǒng):TN-3F 3通道氣體通道
         測(cè)量部件:氣體浮子流量計(jì)
         測(cè)量量程:A通道:0~100ml/min   H2氣
                         B通道:16~160ml/min  N2氣
                        C通道:25~250ml/min   Ar氣
     備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需特別注明。根據(jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。
        測(cè)量精度:±1.0%F.S
        管道耐壓:3MPa
        工作壓差:50~300KPa
        連接管道:304不銹鋼
        控制閥門:304不銹鋼針閥
        接口規(guī)格:進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
        供電電源:AC:220V 50/60Hz

  2. 10、排氣系統(tǒng):產(chǎn)品型號(hào)TN-GZK103-A
         旋片泵
         抽氣速率: 旋片泵:1.1L/S
         排氣抽氣接口:KF16
         真空測(cè)量復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)
         極限真空:1.0E-1Pa
         供電電源:AC220V 50/60Hz


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